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簡介

ISO14644-1

通過顆粒物濃度對空氣潔凈度進行分類

2015

涵蓋潔凈室及其相關受控環(huán)境中的空氣潔凈度分類

ISO14644-2

監(jiān)測通過顆粒濃度提供與空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據

2015

監(jiān)控和定期測試潔凈室或潔凈區(qū)的要求，以證明其繼續(xù)符合ISO14644-1

ISO14644-3

測試方法

2005

用于表征潔凈室和潔凈區(qū)性能的空氣顆粒潔凈度分類的測試方法

ISO14644-4

設計、建造和啟動

2001

潔凈室安裝的設計和構造要求

ISO14644-5

運營

2004

潔凈室運行的基本要求

ISO14644-7

分離裝置（清潔空氣罩、手套箱、隔離器和微環(huán)境）

2004

分離設備的設計、構造、安裝、測試和批準的低要求

ISO14644-8

按化學物濃度（ACC）分類的空氣潔凈度

2013

涵蓋潔凈室及其相關受控環(huán)境中氣態(tài)分子污染物（AMC）的分類

ISO14644-9

通過顆粒物濃度對表面清潔度進行分類

2012

通過潔凈室及其相關受控環(huán)境中的顆粒物濃度確定固體表面潔凈度等級的分類

ISO14644-10

按化學物濃度對表面清潔度進行分類

2013

根據化學化合物或元素的存在情況定義潔凈室表面潔凈度的分類系統(tǒng)

ISO14644-12

通過納米級顆粒濃度監(jiān)測空氣潔凈度的指南

2018

根據懸浮納米級顆粒物濃度的空氣潔凈度的監(jiān)測

ISO14644-13

對表面進行清潔以便達到規(guī)定的顆粒物和化學物潔凈度

2017

用清潔劑處理潔凈室表面、潔凈室設備表面和潔凈室中材料表面的特定清潔程度

ISO14644-14

根據懸浮顆粒物濃度評估設備使用的適用性

2016

設備在潔凈室和相關受控環(huán)境中適用性的評估方法

ISO14644-15

通過懸浮化學物濃度評估設備和材料的適用性

2017

將用于潔凈室及其相關受控環(huán)境中的設備和材料引起的化學物潔凈度提出要求和指南

ISO14644-16

提高潔凈室和凈化設備能效的實施指南

2017（在編）

為新建和現有的潔凈室、潔凈區(qū)和分離設備提供優(yōu)化能源使用和保持能源效率的指導和建議